SEM
MICROSCOPIO ELECTRÓNICO DE BARRIDO
Microscopio electrónico de barrido equipado con cañón de emisión de campo tipo Schottky y con una Lente objetiva Semi-In Lens que permite obtener imágenes con alta resolución espacial y optimizar su funcionalidad analítica. Además, el SEM está equipado con 4 detectores para la obtención de imágenes: un detector de electrones secundarios colocado fuera de la lente objetiva (LEI), un detector mixto de tipo In Lens (SEI), el cual permite filtrar el tipo de información a recuperar, y dos detectores de electrones retrodispersos (BSE), uno colocado fuera de la lente objetiva (LABE-Low Angle Backscattered Electrons) y otro colocado dentro de la columna (RIBE).
El equipo permite:
- Imágenes topográficas de las muestras
- Realizar detección de Impurezas
- Determinar fronteras de grano
- Observar la distribución de los elementos en la superficie (electrones retrodispersos)
- Determinación de la composición química por EDS.
- Determinación de textura cristalográfica por difracción de electrones retrodispersos (EBSD)
Caracteristicas
| Emisor | Emisión de campo Schottky ZrO/W |
| Modos de imagen | Electrones secundarios (SE), electrones retrodispersos (BE) Difracción de electrones retrodispersos (EBSD) |
| Resolución | 1,0 nm (30 keV, SE) 2,5 nm (1 keV) |
| Voltajes de aceleración | 0.5 keV – 30 keV SEM |
| Amplificación | 25 – 1,000,000 X |
| Detectores | SE / LABEIn Lens SEI / BEI |
| Movimiento del espécimen | 70 mm (X), 50 mm (Y), 25 mm (Z), 360° rotatorio |
| Inclinación del espécimen | -5° a 70° |
| Análisis químico elemental | Espectroscopia por energía dispersiva de rayos X (EDS) Oxford Inca-x act |
| EBSD | Difracción de electrones retrodispersos Bruker |